瑞士VAT高真空控制擺閥65.5系列
高過程壓力、低流量腐蝕性蝕刻應(yīng)用的理想之選
65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)，粒子數(shù)和粒子生成水平極低，這也是其主要特點(diǎn)。

該閥門專為嚴(yán)苛工藝設(shè)計(jì)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時(shí)，需要高度可控的流導(dǎo)譜。

65.5 高真空控制擺閥可提供高度可控的流導(dǎo)譜。由于其平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)，粒子數(shù)和粒子生成水平極低，這也是其主要特點(diǎn)。

該閥門專為嚴(yán)苛工藝設(shè)計(jì)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的腐蝕性刻蝕和清潔應(yīng)用，在這些應(yīng)用中，當(dāng)初始可控流導(dǎo)較低時(shí)，需要高度可控的流導(dǎo)譜。

65.5 高真空控制擺閥的 DN 為 250 mm (10")，可將最小流導(dǎo)控制為僅有 2 ls-1。由于 32 位驅(qū)動(dòng)器控制器的數(shù)據(jù)處理能力出色，可將流導(dǎo)增加控制到非常精細(xì)的程度。此外，還可提供更快的驅(qū)動(dòng)，因?yàn)橄噍^于等效的 16 位控制器，傳感器和控制命令的處理速度更快。控制器上的各種標(biāo)準(zhǔn)端口連接器可通過個(gè)人計(jì)算機(jī)或連接到過程控制單元輕松訪問。

鐘擺閥板機(jī)構(gòu)采用極其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，確保其能夠抵抗任 何工藝副產(chǎn)品。為減少密封磨損并避免粒子產(chǎn)生及生成，打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)是分開的。通過遠(yuǎn)離閥座的垂直運(yùn)動(dòng)實(shí) 現(xiàn)第一級(jí)流導(dǎo)，然后通過在水平運(yùn)動(dòng)中移動(dòng)鐘擺閥板來 增加流導(dǎo)。由于閥板運(yùn)動(dòng)可控性佳，預(yù)設(shè)的運(yùn)動(dòng)順序可根據(jù)工藝要求進(jìn)行精確調(diào)整。為確保密封關(guān)閉，通過的特殊壓桿將閥板壓在閥座上。這樣可確保閥板所有 區(qū)域的密封壓力均勻分布。

憑借緊湊的設(shè)計(jì)和直接安裝選項(xiàng)以及各種其他設(shè)計(jì)選項(xiàng)，65.5 系列易于集成到各種真空流程中。

65.5 高真空控制擺閥采用鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁，帶有 ISO-F 和 JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器。可集成客戶指定法蘭，也可作為加熱器，用于工作溫度高達(dá) 120℃ 的閥門。

1. 閥門
2. 驅(qū)動(dòng)器軸
3. 雙軸驅(qū)動(dòng)器
4. 驅(qū)動(dòng)器饋通密封
5. 閘封